激光干涉儀是一種常用的實驗室儀器，可以用于測量長度、形狀、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理，利用激光源發出兩個頻率不同的激光束，通過干涉產生干涉條紋來進行測量。在激光干涉儀中，激光源會發出兩個頻率不同的激光束，其中一個激光束為參考光，另一個激光束則被用來測量待測物體的位移或形變。這兩束激光束會經過分束器和反射鏡，最終在檢測器上產生干涉信號。
激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。
為了保證激光干涉儀的正常運行和精確測量結果，需要進行定期的保養和維護。以下是激光干涉儀的保養技巧：
1、定期清潔：需要定期清潔，以保持其表面的清潔和光學部件的透明度。在清潔過程中，應使用干凈的、柔軟的布或棉簽，避免使用刮刀或尖銳物品，以免刮傷或損壞光學部件。
2、保持干燥：需要保持干燥，以防止光學部件受潮或受損。在存放和使用過程中，應避免暴露在潮濕的環境中，并注意防潮、防水。
3、校準：需要定期校準，以保證其測量精度和準確性。在校準過程中，應按照操作手冊的要求進行操作，避免誤操作或操作不當。
4、避免過度使用：需要避免過度使用，以防止其部件磨損或損壞。在使用過程中，應注意控制使用時間和頻率，并遵守操作手冊中的使用要求。
5、定期維護：需要定期維護，以保證其正常運行和長期使用。在維護過程中，應按照操作手冊的要求進行操作，包括更換部件、加油、潤滑等。
更新時間：2023-06-26
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三坐標測量儀
