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SuperViewW1輪廓度光學(xué)測(cè)量?jī)x是以白光干涉技術(shù)為原理，能以亞納米級(jí)精度測(cè)量從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SJ5780接觸式輪廓測(cè)量?jī)x測(cè)量時(shí)測(cè)針在工件表面做仿形運(yùn)動(dòng)掃描（主動(dòng)掃描），既保持了恒測(cè)力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調(diào)平操作簡(jiǎn)單，同時(shí)避免了崩針、掛針等問題。可以全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長(zhǎng)達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力，適合大范圍陡坡表面測(cè)量，大工件無需翻轉(zhuǎn)、

中圖儀器3D輪廓光學(xué)測(cè)量?jī)x測(cè)量大尺寸樣品時(shí)支持拼接功能，將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

在同等系統(tǒng)放大倍率下，以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀的檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測(cè)功能。

中圖儀器粗糙度輪廓儀檢測(cè)設(shè)備是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量?jī)x器，具有12mm的粗糙度測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到1nm，適合測(cè)量大曲面上的表面粗糙度，同時(shí)具備軸承輪廓度評(píng)價(jià)功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測(cè)量需求。

SJ5800國(guó)產(chǎn)表面粗糙度輪廓儀具有12mm的粗糙度測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到1nm，適合測(cè)量大曲面上的表面粗糙度，同時(shí)具備軸承輪廓度評(píng)價(jià)功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測(cè)量需求。廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金、光學(xué)加工等行業(yè)。對(duì)零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測(cè)量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度檢測(cè)，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)的測(cè)量