中圖儀器PLR3000高精度位置反饋激光干涉尺分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，一站式解決高要求場景下的位置檢測難題，為超精密加工、微電子制造、航空航天等領(lǐng)域打造“精準(zhǔn)+高效+靈活"的測量體驗。

一、產(chǎn)品功能

1. 納米級信號輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號雙輸出，適配各類控制器；

2. 全環(huán)境自適應(yīng)：一體化環(huán)境氣象站，實時補償環(huán)境參數(shù)對測量的影響，數(shù)據(jù)長期可靠；

3. 靈活安裝設(shè)計：激光主機與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠(yuǎn)離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測量支持：單軸/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實現(xiàn)多自由度測量；

5. 雙重使用模式：PLR3000高精度位置反饋激光干涉尺既可作為激光干涉儀獨立測量，也可接入系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制；

二、產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 精度碾壓傳統(tǒng)方案：相比鋼帶尺/玻璃光柵，柵距更精準(zhǔn)、分辨率更高，環(huán)境補償技術(shù)進(jìn)一步保障數(shù)據(jù)穩(wěn)定性；

2. 定制化適配能力：支持量程拓展、探頭選配、多通道輸出，根據(jù)客戶生產(chǎn)場景量身定制方案；

3. 降本增效屬性：體積小巧降低阿貝誤差，安裝快捷減少調(diào)試成本，動態(tài)測量能力適配高速生產(chǎn)線；

4. 全周期可靠保障：激光校準(zhǔn)認(rèn)證加持，數(shù)據(jù)可追溯，滿足工業(yè)生產(chǎn)合規(guī)要求；

三、產(chǎn)品應(yīng)用

1. 半導(dǎo)體制造：光刻機晶圓精準(zhǔn)定位、精密工件臺閉環(huán)反饋，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn)，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率；

4. 科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實驗設(shè)備控制，支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度；

注：產(chǎn)品參數(shù)將隨技術(shù)迭代優(yōu)化，相關(guān)內(nèi)容可能實時更新，恕不另行通知，敬請諒解。

如需了解參數(shù)細(xì)節(jié)、合作政策或獲取樣品測試，歡迎聯(lián)系中圖儀器，中圖專業(yè)團(tuán)隊為你賦能生產(chǎn)升級！