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SuperViewW1半導體光學輪廓測量儀器用于表面形貌紋理，微觀結構分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等領域。是以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

中圖儀器3d光學影像輪廓測量儀是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。它以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等領域。

SuperViewW1光學表面輪廓儀器通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優勢獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。

中圖儀器SuperView W1非接觸三維表面輪廓測量儀器主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓，此外還具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。

SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀能夠以優于納米級的分辨率，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

從檢測效果和操作簡便上來看，w系列光學表面輪廓儀是比較有優勢的產品。可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，xy載物臺標準行程為140*110mm（可擴展），局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。