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共聚焦顯微鏡工業(yè)測量儀具備一體化操作的測量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能。設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉測厚儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

VT6000系列共聚焦成像顯微鏡系統(tǒng)集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

共聚焦顯微鏡利用照明點與探測點共軛特性，可有效抑制同一焦點平面上非測量點的雜散熒光及來自樣品中非焦平面的熒光，從而獲得普通光鏡無法達(dá)到的分辨率。VT6000激光共聚焦掃描顯微鏡對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀性能參數(shù)Z向分辨率：0.1nm；Z向掃描范圍：10.3mm；XY水平位移臺：電動手動均可調(diào)節(jié)。有自動化功能：自動單區(qū)域測量、自動多區(qū)域測量、多區(qū)域定位自動搜索測量、自動拼接測量；防撞保護(hù)：軟件設(shè)置防撞、硬件傳感器防撞。

中圖儀器Chotest白光干涉儀SuperViewW1是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器，具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。